設備真空系統(tǒng)主要由真空室、泵系統(tǒng)和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統(tǒng)由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵等構成。閥門包括前級閥(碟閥)、旁路閥(碟閥)、維持泵閥(碟閥)和高閥(板閥)組成，各閥門均為氣動閥，由PLC控制氣動閥進行控制。加熱室主要由不銹鋼加熱室殼體、不銹鋼反射屏、加熱器、陶瓷絕緣件、水冷電極、爐床等組成。

　　真空釬焊爐的原理：

　　真空系統(tǒng)工作時，首一先啟動機械泵、維持泵和擴散泵（加熱），同時打開前級閥和維持泵閥，對擴散泵內(nèi)進行抽真空。當真空度達到系統(tǒng)某一設定值時，羅茨泵啟動，同時旁路閥打開，前級閥關閉，此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時，高閥打開，旁路閥關閉，前級閥打開。此時對真空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完成整個工藝過程。