真空爐一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統、控溫系統和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

　　真空爐熱處理工藝的操作流程：

　　1、工件在真空狀態下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。

　　2、真空爐的保養應在真空或充純氮狀態下，避免平時不用時吸氣，吸潮。

　　3、國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業的標準為0.67Pa/h。

　　4、真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。

　　5、處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。

　　6、冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。

　　7、真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距。

　　8、升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。

　　9、升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱

　　10、真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規處理時加熱溫度相同。